Piezorezistívny snímač tlaku
Odporový tenzometer je jednou z hlavných komponentov piezorezistívneho snímača napätia. Princíp činnosti kovového odporového tenzometra je založený na jave, že odpor tenzometra adsorbovaného na substráte sa mení s mechanickou deformáciou, bežne známou ako odporový deformačný efekt.
Keramický snímač tlaku
Keramický snímač tlaku je založený na piezorezistívnom efekte. Tlak pôsobí priamo na predný povrch keramickej membrány a spôsobuje miernu deformáciu. Hrubý{2}}vrstvový rezistor je vytlačený na zadnej strane keramickej membrány a vytvára Wheatstoneov mostík. Vďaka piezorezistívnemu efektu piezorezistívneho odporu mostík generuje vysoko lineárny napäťový signál, ktorý je úmerný tlaku a tiež úmerný budiacemu napätiu. Štandardné signály sú kalibrované na 2,0/3,0/3,3 mV/V atď. v závislosti od rozsahu tlaku a sú kompatibilné s tenzometrickými snímačmi.
Difúzny silikónový snímač tlaku
Princíp činnosti difúzneho silikónového snímača tlaku je tiež založený na piezorezistívnom efekte. Pri využití tohto princípu pôsobí tlak meraného média priamo na membránu snímača (nehrdzavejúca oceľ alebo keramika), čo spôsobuje mikro-posunutie membrány úmerné tlaku média. To má za následok zmenu odporu snímača. Elektronické obvody detekujú túto zmenu a vydávajú štandardný merací signál zodpovedajúci tomuto tlaku.
Zafírový snímač tlaku
Tento snímač využíva princíp tenzometra a ako polovodičový snímací prvok používa kremíkový-zafír, ktorý má jedinečné metrologické vlastnosti. Preto sú polovodičové snímacie prvky vyrobené z kremíkového-zafíru necitlivé na zmeny teploty a vykazujú vynikajúce prevádzkové vlastnosti aj pri vysokých teplotách; zafír má silnú odolnosť voči žiareniu; okrem toho, kremíkové-zafírové polovodičové snímacie prvky nemajú žiadny p-n drift.
Piezoelektrický snímač tlaku
Piezoelektrický efekt je hlavným princípom fungovania piezoelektrických snímačov. Piezoelektrické snímače nie je možné použiť na statické merania, pretože náboj po pôsobení vonkajšej sily je zachovaný len vtedy, keď má obvod nekonečnú vstupnú impedanciu. Keďže to tak v skutočnosti nie je, piezoelektrické snímače dokážu merať iba dynamické napätie.